1、重復定位精度測量原理
重復定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。
線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個角錐反射鏡安裝到待測目標上，它與干涉鏡之間形成干涉儀的測量光路。隨著平移裝置多次位移，每移動設(shè)定位移量之后，由干涉儀記錄測量光路改變量，即平移裝置的位移量。

2、測量數(shù)據(jù)處理

重復定位精度包括平移裝置的單點定位精度和整個位移范圍內(nèi)的不同位置點上的定位精度兩種。前者可以通過調(diào)整裝置使多次移動到同一標稱位置，并暫停幾秒，記錄位移量；測量其位移偏差量；后者擇在整個位移范圍不同位置點上測量實際位移與標稱值的偏差，使待測位移裝置移動到目標位置點，并暫定進行測量。將多次定位測量數(shù)據(jù)進行分析處理，得到裝置的重復定位精度。
3、重復定位精度測量用組件
重復定位精度測量用到的激光干涉儀組件：
激光干涉儀測頭、線性測量光學鏡組、光路折轉(zhuǎn)量光學鏡組、環(huán)境補償單元、Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件。
4、重復定位精度測量應用
數(shù)控機床/坐標測量機導軌的重復定位精度測量
機床X、Y軸平移臺的重復定位精度測量
高精度機械元件的校準
線性電機或壓電陶瓷平移臺的重復定位精度測量