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1、重復定位精度測量原理重復定位精度測量主要用到干涉儀的線性測量，即對待測平移裝置的定位進行多次測量，比較得到同一位移指令下的定位精度。線性度測量是激光干涉儀的基本測量，原理如圖所示。將一個角錐反射鏡安裝到分光鏡上，組成線性干涉鏡，它形成干涉儀的參考光路。另一個角錐反射鏡…[詳情]

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結果，這是單頻干涉儀的一個根本弱點。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時，這一缺點十分突出，而雙頻激光…[詳情]

鐳測科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測量技術，技術指標達到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。通過與不同的光學組件結合，可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準的高效率量測工具。 系統(tǒng)組成…[詳情]

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時， 將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里， 一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；[詳情]