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導(dǎo)讀 雙頻激光干涉儀是先進(jìn)制造業(yè)、半導(dǎo)體芯片制造等行業(yè)不可或缺的納米精度的尺子，應(yīng)用廣泛。張書(shū)練教授團(tuán)隊(duì)（先清華大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，后鐳測(cè)科技有限公司），以解決雙頻激光干涉儀關(guān)鍵技術(shù)為線，經(jīng)近40年堅(jiān)韌攀登，研究完成了“可伐-玻璃組裝式單頻氦氖激光器…[詳情]